Resist for electronic lithography: Tests on HSQ Em Resist powder
Résine pour la lithographie Electronique : Tests sur la HSQ Em Resist en poudre
Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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Justine Harmel : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04610482
Soumis le : jeudi 13 juin 2024-10:01:45
Dernière modification le : vendredi 5 juillet 2024-14:17:52